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铝钕靶材安装介绍

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铝钕靶材安装介绍

发布日期:2018-10-15 作者: 点击:

    靶材安装过程中最重要的注意事项是一定要确保在靶材和溅射枪冷却壁之间建立很好的导热连接。如果用冷却壁的翘曲程度严重或背板翘曲严重会造成靶材安装时发生开裂或弯曲,背靶到靶材的导热性能就会受到很大的影响,导致在溅射过程中热量无法散发最终会造成靶材开裂或脱靶


    为确保足够的导热性,可以在阴极冷却壁与靶材之间加垫一层石墨纸。(图1)请注意一定要仔细检查和明确所使用溅射枪冷却壁的平整度,同时确保O型密封圈始终在位置上。(图2)

铝钕靶材.png

铝钕靶材.png

    由于所使用冷却水的洁净程度和设备运行过程中可能会产生的污垢会沉积在阴极冷却水槽内,所以在安装靶材时需要对阴极冷却水槽进行检查和清理,确保冷却水循环的顺畅和进出水口不会被堵塞。(图3)

铝钕靶材.png

    有些阴极设计是与阳极的空隙较小,所以在安装靶材时需要确保阴极与阳极之间没有接触也不能存在导体,否则会产生短路。(图4)

铝钕靶材.png

    请参考设备商操作手册中关于如何正确安装靶材的相关信息。如果用户使用手册中没有此相关信息,请尝试按照高展金属提供的相关建议进行安装。在收紧靶材夹具时,请先用手转紧一颗镙栓,再用手转紧对角线上的另外一颗镙栓,如此重复直到安装上所有镙栓后,再用工具收紧 。


    【铝钕靶材短路及密封性检查】


    靶材完成安装后需要对整个阴极进行短路检查及密封性检查,


    建议通过使用电阻仪摇表的方式对阴极是否存在短路进


    行判断。在确定阴极不存在短路后,可以进行检漏检查,将水通入阴极确定是否存在漏水现象。


    【铝钕靶材预溅射】


    靶材预溅射建议采用纯氩气进行溅射,可以起到清洁靶材表面的作用。靶材进行预溅射时建议慢慢加大溅射功率,陶瓷类靶材的功率加大速率建议为1.5W小时/平方厘米。金属类靶材的预溅射速度可以比陶瓷靶材块,一个合理的功率加大速率为1.5W小时/平方厘米。


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