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铝钕靶材绍靶面金属化合物的形成

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铝钕靶材绍靶面金属化合物的形成

发布日期:2018-03-06 作者: 点击:

  【铝钕靶材】介绍靶面金属化合物的形成:

  由金属靶面通过反应溅射工艺形成化合物的过程中,化合物是在哪里形成的呢?

  

铝钕靶材.jpg

由于活性反应气体粒子与靶面原子相碰撞产生化学反应生成化合物原子,通常是放热反应,反应生成热必须有传导出去的途径,否则,该化学反应无法继续进行。

  在真空条件下气体之间不可能进行热传导,所以,化学反应必须在一个固体表面进行。反应溅射生成物在靶表面、基片表面、和其他结构表面进行。


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